Ergebnisse des EMPIR-Projektes NanoXSpot: Methoden für die Brennfleckmessung von Röntgenröhren im Mikro- und Nanometerbereich
G.-R. Jaenisch1, U. Ewert2, B. Bircher3, F. Meli3, A. Andrii Sofiienko4, J.P. Steffen5, A. Deresch6, V. Korpelainen7, F. Pohlenz8, M. Costin9
1: Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung, Berlin
2: KOWOTEST Gesellschaft für Prüfausrüstung mbH, Langenfeld
3: ehemals Federal Institute of Metrology METAS, Laboratory for Length, Nano- and Microtechnology, Bern-Wabern, Schweiz
4: Excillum AB, Kista, Schweden
5: X-RAY WorX GmbH, Garbsen
6: Comet Yxlon GmbH, Hamburg
7: Teknologian tutkimuskeskus VTT, Oy, Finnland
8: Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig
9: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, Paris, Frankreich